《TFT-LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程課件.ppt》由會(huì)員分享，可在線閱讀，更多相關(guān)《TFT-LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程課件.ppt（38頁珍藏版）》請?jiān)趨R文網(wǎng)上搜索。

1、sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程2023/1/24 1tFt-lcd process1b2023/1/24 2sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程tFt-lcd structure&principiumTFTThin Film Transistor 薄膜電晶體LCDLiquid Crystal Display液晶顯示器v由于TFT-LCD具有體積小，重量輕，低輻射，低耗電量，全彩化等優(yōu)點(diǎn)，因此在各類顯示器材上得到了廣泛的應(yīng)用。2b2023/1/24 3sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程tFt-lcd各結(jié)構(gòu)的功能q背光板模組:提供光的來源.q上下偏光板，TFTGla

2、ssSubstrate，液晶：形成偏振光，控制光線的通過與否。q彩色濾光片：提供TFTLCD紅，綠，藍(lán)(光的三原色)的來源。qITO透明導(dǎo)電層：提供透明的導(dǎo)電通路。qPhotoSpacer：提供一固定高度給彩色濾光片和TFTGlassSubstrate。作為灌入液晶時(shí)的空間.及作為上下兩層Glass的支撐。3b2023/1/24 4sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程tFt-lcd顯示原理qq液晶簡介液晶簡介qq光與液晶分子產(chǎn)生的效果光與液晶分子產(chǎn)生的效果qq偏光板的特性偏光板的特性qq將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果qqTFT-

3、LCDTFT-LCD顯像原理顯像原理4b2023/1/24 5sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程TFT-LCD使用的液晶為TN（TwistNematic）型液晶，液晶分子呈橢圓狀。qTN型液晶一般是順著長軸方向串接，長軸間彼此平行方式排列。q當(dāng)接觸到槽裝表面時(shí)，液晶分子就會(huì)順著槽的方向排列于槽中。液晶簡介5b2023/1/24 6sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程光與液晶分子產(chǎn)生的效果q當(dāng)線性偏極光射入上層槽狀表面時(shí)，此光線隨著液晶分子的旋轉(zhuǎn)也產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)。q當(dāng)線性偏極光射出下層槽狀表面時(shí)，此光線已經(jīng)產(chǎn)生了90度的旋轉(zhuǎn)。6b2023/1/24 7sunyesTFT LCD簡介與

4、生產(chǎn)工藝流程偏光板的特性作用：將非偏極光（一般光線）過濾成偏極光。當(dāng)非偏極光通過a方向的偏光片時(shí)，光線被過濾成與a方向平行的線性偏極光。v右上圖：線性偏極光繼續(xù)前進(jìn)，通過第二片偏光片時(shí)，光線通過。v右下圖：通過第二片時(shí)，光線被完全阻擋。7b2023/1/24 8sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果（1）v當(dāng)上下偏光片相互垂直時(shí)，若未施加電壓，光線可通過。8b2023/1/24 9sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程v當(dāng)施加電壓時(shí)，光線被完全阻擋。將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果（2）9bTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程tF

5、t-lcd顯像原理（1）sunyes10btFt-lcd顯像原理（2）sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程11b2023/1/24 12sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程 Color Filter Fabrication ProcessColor Filter Fabrication ProcessTFT Array ProcessLiquid Crystal Cell ProcessModule Assembly ProcesstFt-lcd process12b2023/1/24 13c/F processsunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程13b2023/1/2

6、4 14sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程14bito透明導(dǎo)電層的作用sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程15b2023/1/24 16sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程v因TFT組件的動(dòng)作類似一個(gè)開關(guān)(Switch)，液晶組件的作用類似一個(gè)電容，藉Switch的ON/OFF對電容儲(chǔ)存的電壓值進(jìn)行更新/保持。vSW ON時(shí)信號(hào)寫入(加入、記錄)在液晶電容上，在以外時(shí)間 SW OFF，可防止信號(hào)從液晶電容泄漏。v在必要時(shí)可將保持電容與液晶電容并聯(lián)，以改善其保持特性。tFt array 等效電路16b2023/1/24 17sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程這

7、是5次光刻形成TFT圖形，采用底柵背溝道刻蝕的工藝。以玻璃為基板。第一次光刻形成柵線原料為Cr。第二次光刻形成“硅島”SiNx，a-Si，n+-a-Si層，第三次光刻形成ITO導(dǎo)電膜，第四次光刻形成源極漏極，材料為Cr，并進(jìn)行n+切斷，基本形成TFT。最后第五次光刻形成SiNx保護(hù)膜。tFt-array processDataBusLineandS/DMetalSputteringDataBusLineandS/DPatterningUsing4thMASKEtch-Backofn+a-SiUsingS/DLayerasaMASKPassivationSiNxDepositionUsingPE

8、CVDPassivationSiNxAtchUsingRIE17b2023/1/24 18sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程cell process(1)18b2023/1/24 19sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程cleaning19b2023/1/24 20sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程pi coating淡黃色淡黃色8001200q將PI液滴在AniloxRoll上。qDoctorRoll將AniloxRoll上的PI液整平。qAPR板上的圓型凸出物將AniloxRool凹槽內(nèi)PI擠壓出來并帶走。q將APR板上PI均勻轉(zhuǎn)印到基板上，提供液晶配向?qū)印?0

9、b2023/1/24 21sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程pi rubbingPI膜配向:基板和Roller成45度角,TFT和CF基板方向差90度.Roller高速旋轉(zhuǎn)時(shí),絨毛上的纖維會(huì)甩立起來,將PI膜刷出紋路.Rubbing的情況,類似於重鋪柏油馬路之前的刨路機(jī),將路面刨出紋路.配配 向向 絨絨 布布21b2023/1/24 22sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程cell process(2)22b2023/1/24 23sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程seal printing23b2023/1/24 24sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程v

10、SpacerSpray制程：將間隙粒子均勻地分布在基板上，以作為TFT與CF間的支撐，使整個(gè)面板擁有均勻的間隙。spacer spray 24b2023/1/24 25sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程濕式灑布25b2023/1/24 26sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程hot pressure26b2023/1/24 27sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程Hot PressHot Press27b2023/1/24 28sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程cell process(3)28b2023/1/24 29sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工

11、藝流程scribing&breaking29b2023/1/24 30sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程1ST CUTTING2ND CUTTINGcutting method30b2023/1/24 31sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程對設(shè)備的影響q玻璃基板的尺寸變大直接音響電極圖案形成設(shè)備。（Array）e.g.成膜設(shè)備：占地面積加大與確保膜厚均勻性等問題。e.g.濕式設(shè)備：更換效率與節(jié)省水等問題。q切割尺寸增大直接影響面板組裝設(shè)備。（CELL）e.g.液晶注入設(shè)備：處理時(shí)間過長等問題。q次代交替快，產(chǎn)品生命周期短，廠商設(shè)備開發(fā)成本高。lcd面板世代31bsunyes

12、TFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程lc injectionv將容器抽真空v將裝有LC的容器上升與PANEL的注入端接觸，此時(shí)LC通過毛細(xì)現(xiàn)象上升。v過一段時(shí)間后充入潔凈的空氣或氮?dú)馄普婵罩脸?。v通過真空差壓的原理，LC經(jīng)過一段時(shí)間后充滿PANEL。32b2023/1/24 33sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程v目的：將灌好目的：將灌好LC的的PANEL封口。封口。end seal33b2023/1/24 34sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程bevelingv目的：將切裂后的玻璃毛邊用磨輪磨出倒角，并去除外圍的短路棒（ShortingBar）34b2023/1/24 35sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程polarizer attachmentv上下偏光片濾光角度差90度偏光片貼附偏光片貼附35b2023/1/24 36sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程cell testv目的：用電性能測試的方式檢測做完的PANEL，看是否有缺陷。v方法：將DateLine的R線并連，G線并練，B線并連。Full dot test36b2023/1/24 37sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程tFt in china37b2023/1/24 38sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程Thanks!38b