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1、sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程 1tFt-lcd process 2sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程tFt-lcd structure&principiumTFTThin Film Transistor 薄膜電晶體LCDLiquid Crystal Display液晶顯示器v由于TFT-LCD具有體積小，重量輕，低輻射，低耗電量，全彩化等優(yōu)點(diǎn)，因此在各類顯示器材上得到了廣泛的應(yīng)用。3sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程tFt-lcd各結(jié)構(gòu)的功能q背光板模組:提供光的來源.q上下偏光板，TFTGlassSubstrate，液晶：形成偏振光，控制光線的通過與否。q

2、彩色濾光片：提供TFTLCD紅，綠，藍(lán)(光的三原色)的來源。qITO透明導(dǎo)電層：提供透明的導(dǎo)電通路。qPhotoSpacer：提供一固定高度給彩色濾光片和TFTGlassSubstrate。作為灌入液晶時(shí)的空間.及作為上下兩層Glass的支撐。4sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程tFt-lcd顯示原理qq液晶簡介液晶簡介qq光與液晶分子產(chǎn)生的效果光與液晶分子產(chǎn)生的效果qq偏光板的特性偏光板的特性qq將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果效果qqTFT-LCDTFT-LCD顯像原理顯像原理 5sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程TF

3、T-LCD使用的液晶為TN（TwistNematic）型液晶，液晶分子呈橢圓狀。qTN型液晶一般是順著長軸方向串接，長軸間彼此平行方式排列。q當(dāng)接觸到槽裝表面時(shí)，液晶分子就會(huì)順著槽的方向排列于槽中。液晶簡介 6sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程光與液晶分子產(chǎn)生的效果q當(dāng)線性偏極光射入上層槽狀表面時(shí)，此光線隨著液晶分子的旋轉(zhuǎn)也產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)。q當(dāng)線性偏極光射出下層槽狀表面時(shí)，此光線已經(jīng)產(chǎn)生了90度的旋轉(zhuǎn)。7sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程偏光板的特性作用：將非偏極光（一般光線）過濾成偏極光。當(dāng)非偏極光通過a方向的偏光片時(shí)，光線被過濾成與a方向平行的線性偏極光。v右上圖：線性偏極光

4、繼續(xù)前進(jìn)，通過第二片偏光片時(shí)，光線通過。v右下圖：通過第二片時(shí)，光線被完全阻擋。8sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果（1）v當(dāng)上下偏光片相互垂直時(shí)，若未施加電壓，光線可通過。9sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程v當(dāng)施加電壓時(shí)，光線被完全阻擋。將偏光板、槽狀表面、液晶組合后產(chǎn)生的光學(xué)效果（2）TFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程tFt-lcd顯像原理（1）sunyestFt-lcd顯像原理（2）sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程 12sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程 Color Filter Fabrication

5、 ProcessColor Filter Fabrication ProcessTFT Array ProcessLiquid Crystal Cell ProcessModule Assembly ProcesstFt-lcd process 13c/F processsunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程 14sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程ito透明導(dǎo)電層的作用sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程 16sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程v因TFT組件的動(dòng)作類似一個(gè)開關(guān)(Switch)，液晶組件的作用類似一個(gè)電容，藉Switch的ON/OFF對(duì)電容儲(chǔ)存的

6、電壓值進(jìn)行更新/保持。vSW ON時(shí)信號(hào)寫入(加入、記錄)在液晶電容上，在以外時(shí)間 SW OFF，可防止信號(hào)從液晶電容泄漏。v在必要時(shí)可將保持電容與液晶電容并聯(lián)，以改善其保持特性。tFt array 等效電路 17sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程這是5次光刻形成TFT圖形，采用底柵背溝道刻蝕的工藝。以玻璃為基板。第一次光刻形成柵線原料為Cr。第二次光刻形成“硅島”SiNx，a-Si，n+-a-Si層，第三次光刻形成ITO導(dǎo)電膜，第四次光刻形成源極漏極，材料為Cr，并進(jìn)行n+切斷，基本形成TFT。最后第五次光刻形成SiNx保護(hù)膜。tFt-array processDataBusLin

7、eandS/DMetalSputteringDataBusLineandS/DPatterningUsing4thMASKEtch-Backofn+a-SiUsingS/DLayerasaMASKPassivationSiNxDepositionUsingPECVDPassivationSiNxAtchUsingRIE 18sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程cell process(1)19sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程cleaning 20sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程pi coating淡黃色淡黃色8001200q將PI液滴在AniloxRoll上。q

8、DoctorRoll將AniloxRoll上的PI液整平。qAPR板上的圓型凸出物將AniloxRool凹槽內(nèi)PI擠壓出來并帶走。q將APR板上PI均勻轉(zhuǎn)印到基板上，提供液晶配向?qū)印?1sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程pi rubbingPI膜配向:基板和Roller成45度角,TFT和CF基板方向差90度.Roller高速旋轉(zhuǎn)時(shí),絨毛上的纖維會(huì)甩立起來,將PI膜刷出紋路.Rubbing的情況,類似於重鋪柏油馬路之前的刨路機(jī),將路面刨出紋路.配配 向向 絨絨 布布 22sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程cell process(2)23sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)

9、工藝流程seal printing 24sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程vSpacerSpray制程：將間隙粒子均勻地分布在基板上，以作為TFT與CF間的支撐，使整個(gè)面板擁有均勻的間隙。spacer spray 25sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程濕式灑布 26sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程hot pressure 27sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程Hot PressHot Press 28sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程cell process(3)29sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程scribing&breakin

10、g 30sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程1ST CUTTING2ND CUTTINGcutting method 31sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程對(duì)設(shè)備的影響q玻璃基板的尺寸變大直接音響電極圖案形成設(shè)備。（Array）e.g.成膜設(shè)備：占地面積加大與確保膜厚均勻性等問題。e.g.濕式設(shè)備：更換效率與節(jié)省水等問題。q切割尺寸增大直接影響面板組裝設(shè)備。（CELL）e.g.液晶注入設(shè)備：處理時(shí)間過長等問題。q次代交替快，產(chǎn)品生命周期短，廠商設(shè)備開發(fā)成本高。lcd面板世代sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程lc injectionv將容器抽真空v將裝有LC的容器上升

11、與PANEL的注入端接觸，此時(shí)LC通過毛細(xì)現(xiàn)象上升。v過一段時(shí)間后充入潔凈的空氣或氮?dú)馄普婵罩脸?。v通過真空差壓的原理，LC經(jīng)過一段時(shí)間后充滿PANEL。33sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程v目的：將灌好目的：將灌好LC的的PANEL封口。封口。end seal 34sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程bevelingv目的：將切裂后的玻璃毛邊用磨輪磨出倒角，并去除外圍的短路棒（ShortingBar）35sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程polarizer attachmentv上下偏光片濾光角度差90度偏光片貼附偏光片貼附 36sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程cell testv目的：用電性能測試的方式檢測做完的PANEL，看是否有缺陷。v方法：將DateLine的R線并連，G線并練，B線并連。Full dot test 37sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程tFt in china 38sunyesTFT LCD簡介與生產(chǎn)工藝流程Thanks!