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磁控濺射設備通用技術(shù)條件磁控濺射設備通用技術(shù)條件SJ/TSJ/T 10478-199410478-1994 電子現(xiàn)行目錄目錄標準狀態(tài)標準狀態(tài)1.發(fā)布于 1994-04-112.實施于 1994-10-013.廢止基礎信息基礎信息標準號SJ/T 10478-1994發(fā)布日期1994-04-11實施日期1994-10-01制修訂制定批準發(fā)布部門電子工業(yè)部行業(yè)分類無標準類別無備案信息備案信息備案號：0062-1994備案日期：2014-12-26起草單位起草單位起草人起草人

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