《第10講電容式壓力傳感器方案課件.ppt》由會員分享，可在線閱讀，更多相關《第10講電容式壓力傳感器方案課件.ppt（69頁珍藏版）》請在匯文網上搜索。

1、第10講電容式壓力傳感器Capacitive Pressure Sensors,1、平板電容器,1 電容式傳感器的原理和結構,2、圓筒形電容器,極板上移：,1、基本特性,二、變間隙型電容傳感器,（2）考慮二次項,2、有介電層的變間隙型電容傳感器,動極板上移：,初始位置時，,3、差動式變間隙型電容傳感器,略去高次項：,三、變面積型電容傳感器,線性,1、板狀線位移變面積型,線性,2、角位移變面積型,線性,3、筒狀線位移變面積型,4、中間極移動式變面積型,5、差動結構變面積型,四、變介質型電容傳感器,例1：薄膜測厚,線性,例2：電容式液位傳感器,設計一個油料液位監(jiān)測系統(tǒng)。當液位高于 H1 時，鳴響震

2、鈴且紅色LED亮，當液位低于 H2 時，鳴響震鈴且黃色LED亮，當液位處于 H1 和 H2 之間時，綠色LED亮。,差動變間隙型電容傳感器，初始電容 ，初始間隙 ，設動極板相對于定極板位移了 ，計算其非線性誤差。若改為單極平板電容，初始值不變，非線性誤差有多大？,如何改善單極式變間隙型電容傳感器的非線性？,思考題！,2 電容式傳感器的測量電路,振蕩回路固有電容,引線分布電容,傳感器電容,一、調頻電路,1、直放式：,2、外差式,二、調幅電路,1、交流電橋電路,（1）普通交流電橋,（2）緊耦合電感電橋,耦合系數(shù),電路諧振點：,（3）變壓器電橋,回路1,回路2,差動變間隙型電容傳感器：,（4）雙T二

3、極管交流電橋,2、運算放大器式電路,變間隙型電容傳感器：,線性關系,三、脈沖寬度調制電路,參考電壓,變間隙型差動電容傳感器：,變面積型差動電容傳感器：,一、等效電路,3 電容式傳感器的應用,保護環(huán),1、邊緣效應,靈敏度降低、非線性增加,二、應用中存在問題,2、寄生電容,消滅寄生電容的影響，是傳感器實用化的關鍵。,三、應用舉例,例3 電容測厚傳感器在板材軋制裝置中的應用,例4 電容式稱重傳感器,誤差平均效應,例5 電容式壓力傳感器,單只變間隙型,差動式,慣性原理,例6 電容式加速度傳感器,ADI公司ADXL全系列加速度傳感器,例7 容柵傳感器,差動變面積型,誤差平均效應,容柵傳感器是一種基于變面

4、積工作原理，可測量大位移的電容式數(shù)字傳感器。,參考文獻：,“高分子電容式濕度變送器溫度補償方法”， 傳感器技術，2001年9期,2、“電容層析成像系統(tǒng)動態(tài)成像穩(wěn)定性補償方法”，儀表技術與傳感器，2001年9期,3、“極板放在同一平面上的電容敏感器件的研制”，傳感器技術，2001年5期,為什么電容傳感器易受干擾，如何減小干擾？,如何改善單極式變間隙型電容傳感器的非線性？,什么是“驅動電纜技術”，采用的目的是什么？,思考題,FIN,人有了知識，就會具備各種分析能力，明辨是非的能力。所以我們要勤懇讀書，廣泛閱讀，古人說“書中自有黃金屋?！蓖ㄟ^閱讀科技書籍，我們能豐富知識，培養(yǎng)邏輯思維能力；通過閱讀文學作品，我們能提高文學鑒賞水平，培養(yǎng)文學情趣；通過閱讀報刊，我們能增長見識，擴大自己的知識面。有許多書籍還能培養(yǎng)我們的道德情操，給我們巨大的精神力量，鼓舞我們前進。,